WSS3200设计适用于处理8英寸晶圆。设备具有2个SMIF Pod Opener做为装载端口，主要用于晶圆传送。该系统采用Hirata双臂ATM机器，并配备了一个晶圆预对准器，用于判定晶圆的定位和方向，以及用于OCR读取。所有晶圆传送模式都可以通过程序编程，传送模式如晶圆排序分拣，顺序分拣和槽对槽分拣。 易于操作的系统界面，设备也可通过TCP/IP或SECSGEM方式与客户服务器进行连接，用于上传相关数据。