WSS2150设计用于测量6英寸晶圆重量，并根据测量结果传送和分类至不同晶圆匣里。此系统搭配了高精度平田（Hirata）4轴双臂ATM机器人手臂以及晶圆预对准器，可以对晶圆进行准确的传送。设备还使用了（Mettler Toledo）高精度的晶圆重量测量仪器，能精准的测量晶圆重量并进行传送和分类。
晶圆重量测量与搬运系统 - WSS2150W
- 专门为6英寸晶圆设计
- 配备Mettler Toledo高精度重量测量仪器（WXT系列）。
- 平田（Hirata）4轴双臂ATM机器人手臂
- 配备IOSS WID120 OCR读取器
- 配备平田（Hirata）晶圆预对准器模块中
- 3个配备4个装载端口的工作单元(LP1用于Peek晶圆匣，LP2、LP3和LP4采用通用设计，可接受翻盖式或半高开放式晶圆匣，并可转换)。
- 触摸屏HMI，配备用于重量分拣的定制软件
- TCP/IP网络接口或SECS/GEM数据通信（可选）
