WSS2150设计用于测量6英寸晶圆重量，并根据测量结果传送和分类至不同晶圆匣里。此系统搭配了高精度平田（Hirata）4轴双臂ATM机器人手臂以及晶圆预对准器，可以对晶圆进行准确的传送。设备还使用了（Mettler Toledo）高精度的晶圆重量测量仪器，能精准的测量晶圆重量并进行传送和分类。
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WSS2150设计用于测量6英寸晶圆重量，并根据测量结果传送和分类至不同晶圆匣里。此系统搭配了高精度平田（Hirata）4轴双臂ATM机器人手臂以及晶圆预对准器，可以对晶圆进行准确的传送。设备还使用了（Mettler Toledo）高精度的晶圆重量测量仪器，能精准的测量晶圆重量并进行传送和分类。