WPS3200是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此系统适用于6英寸和8英寸晶圆。该系统配备了用于晶圆定位和定向的晶圆预对准器，以及用于OCR和二维码读取的晶圆ID读取器。此外，WPS3200还配备了用于晶圆、衬纸、隔离纸或环形垫片检测的内置视觉传感器，以及高精度的机械臂和内置高度传感器。系统还搭配晶圆扫描和位置感测器，可在操作过程中检测任何晶圆交叉位置或晶圆叠片问题。
晶圆包装与拆封系统 - WPS3200
- 配备2个晶圆突出检测传感器（6英寸和8英寸通用）
- 配备2个晶圆盒站（可配置为1个晶圆盒和1个晶圆罐，可选配Cartesian机械系统）
- 1个衬纸或隔离纸端口（在6英寸和8英寸之间自动转换）
- 平田（Hirata）4轴机器人手臂，具有晶圆翻转功能
- 用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的内置颜色传感器，以及在盒和晶圆罐装载端口上用于机器人操作精度的内置高度传感器，(“分离器晶圆盒”端口上的1个高度传感器。）
- 晶圆罐搬运的Cartesian机器（可选）
- 晶圆盒的晶圆环分离器处理模块（可选）
