WPS3200是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此系统适用于6英寸和8英寸晶圆。该系统配备了用于晶圆定位和定向的晶圆预对准器，以及用于OCR和二维码读取的晶圆ID读取器。此外，WPS3200还配备了用于晶圆、衬纸、隔离纸或环形垫片检测的内置视觉传感器，以及高精度的机械臂和内置高度传感器。系统还搭配晶圆扫描和位置感测器，可在操作过程中检测任何晶圆交叉位置或晶圆叠片问题。