基于激光的晶圆表面粗糙度测量系统由美国Chapman Instrument Inc.以及由QES Mechatronic Sdn Bhd代工生产。非接触测量系统可在单个系统中测量多个参数， 如可测量晶圆表面粗糙度(roughness)、晶圆斜面粗糙度(Across/Along Bevel)、晶圆边缘粗糙度(Across/Along Edge Roughness)。