WTS300G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批量传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶圆匣）、分开模式、合并模式或翻转6英寸晶圆和8英寸晶圆。适用晶圆匣类型为有26个插槽、25个插槽和13个插槽的SEMI标准开放式晶圆匣。它由四个装载端口组成，其中三个为载入装载端口，一个为载出装载端口。该系统配备高精度反射式传感器，用于检测晶圆突出.
晶圆批量搬运系统 - WTS300G
- 专门为6英寸和8英寸晶圆设计
- 四个装载端口可用于垂直放置的开放式晶圆匣的晶圆分拣
- 电动夹持器模块配备25槽梳子，用于晶圆转移、分割、合并和翻转过程
- 配备可靠的匣映射传感器、晶圆突出传感器和匣放置传感器。
- 产品菜单由用户友好的 GUI 软件管理
- TCP/IP网络，用于与主机服务器接口，并通过网络存储地图数据
- SECS/GEM通信工具（可选）
