WTS300G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批量传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶圆匣）、分开模式、合并模式或翻转6英寸晶圆和8英寸晶圆。适用晶圆匣类型为有26个插槽、25个插槽和13个插槽的SEMI标准开放式晶圆匣。它由四个装载端口组成，其中三个为载入装载端口，一个为载出装载端口。该系统配备高精度反射式传感器，用于检测晶圆突出.
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WTS300G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批量传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶圆匣）、分开模式、合并模式或翻转6英寸晶圆和8英寸晶圆。适用晶圆匣类型为有26个插槽、25个插槽和13个插槽的SEMI标准开放式晶圆匣。它由四个装载端口组成，其中三个为载入装载端口，一个为载出装载端口。该系统配备高精度反射式传感器，用于检测晶圆突出.