WPS3800是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此系统适用于8英寸和12英寸晶圆。该系统配有两个用于8英寸SEMI标准开放式晶圆匣和12英寸FOUP晶圆匣或12英寸FOSB晶圆匣的装载端口,两个用于8英寸晶圆盒和12英寸晶圆盒的装载端口(可配置1个晶圆盒和1个配备可选Cartesian机器人模块的晶圆罐),以及一个用于衬纸或隔离纸的端口(用于8英寸和12英寸晶圆的自动转换)。WPS3800内置用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的视觉传感器,以及在晶圆盒和晶圆罐装载端口上配备内置高度传感器,以确保机器人在拾取和放置过程中的准确性。
top of page


相關產品
bottom of page

















