MPS2100是美国Chapman Instrument Inc.最新的高分辨率分析仪。专门设计用于表面测量和分析，它既可以用作在线质量检查的生产工具，也可以用作建立标准和研究公差的研发工具。MPS2100采用与其他Chapman分析仪相同的非接触测量技术，用户可以快速进行高分辨率线性或圆形扫描。基于Windows的操作软件功能强大、易于操作的界面，可以通过编程来执行一系列例行程序，并报告在线生产数据以供进一步分析。密码设置、更换记录和事件记录/错误记录是查普曼软件的标准配置。可选机器人手臂搬运150mm、200 mm和300 mm晶圆。