WIS8000被设计用于检测(目检)8英寸和12英寸尺寸的晶圆。标准设计配有两个标准装载端口，可容纳12英寸SEMI标准FOUP、12英寸SEMI 标准FOSB和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣，也可以升级为三个装载端口。操作员可使用此系统对晶圆进行宏观和微观检测，并把检测结果记录在晶圆图上。此系统还配有晶圆传送能力以及可对晶圆ID进行读取记录。