PPI3300被设计用于检测8英寸和12 英寸图案晶圆表面缺陷，如划痕、墨点污迹、刮伤、水痕和芯片边缘裂纹。系统采用分辨率为26.1MP的高速 CMOS 相机和 CoaXPress接口。5120 x 5120 高分辨率、90 FPS的高速和全局快门的组合为检测应用创造了新标准。 CF物镜用于在保持高NA的同时延长聚焦距离，从而生成清晰、对比度和分辨率高的图像。晶圆XY检测平台集成了旋转台和抗震平台，可提供准确检测和高产量。自动装载、用于 OCR 和二维码读取的晶圆 ID 读取器以及自动缺陷检测都是标准系统配置的一部分。