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WIS1000被设计用于检测(目检)6英寸和8英寸的晶圆。标准设计配有一个标准装载端口,可容纳6英寸和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣。操作员可使用该系统进行晶圆检测、并把检测结果记录在晶圆图上,并通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析,找出可能发生低良率的原因。此设备集成了尼康(Nikon)晶圆自动装载器,高倍率显微镜和可编程XY平台,用于宏观和微观检查。它不仅可以对晶圆正面与背面进行宏观检查,还可以对晶圆正面进行微观检查。另外,可选择升级喷墨打标系统,用于标记在已检测的瑕疵芯片。

(晶圆)光学检测系统 - WIS1000

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