WSS2200设计有四个标准装载端口，适用于6英寸和8英寸的晶圆。端口设计用于处理6英寸和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣。此系统主要功能是传送晶圆，从一个晶圆匣传送至另一个晶圆匣里。搭配平田（Hirata）机器手臂，并拥有X、Y和Z轴的移动控制器。从输入装载端口加装载的晶圆传输至预对准器进行晶圆定向检查并由OCR读取对准的晶圆ID，并通过TCP/IP或SECS/GEM记录到PC/服务器中。