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WIS1100被设计用于检测(目检)4英寸和6英寸的晶圆尺寸,用于半导体行业的光学检查、晶圆图和瑕疪分类管理。标准设计配有一个标准装载端口,可容纳4英寸和6英寸SEMI标准开放式晶圆匣。该系统配有高性能的前后晶圆宏观检测系统,包括微观检测系统。此外,微观检测系统集成了尼康Eclipse L200N和5个电动物镜。晶圆对准器是为了确保晶圆定位的准确性和用于晶圆ID OCR读取。另外,可选择升级喷墨打标系统,用于标记在已检测的瑕疵芯片。

(晶圆)光学检测系统 - WIS1100

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