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WIS1000被设计用于检测(目检)6英寸和8英寸的晶圆。标准设计配有一个标准装载端口,可容纳6英寸和8英寸SEMI标准开放式晶圆匣。操作员可使用该系统进行晶圆检测、并把检测结果记录在晶圆图上,并通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析,找出可能发生低良率的原因。此设备集成了尼康(Nikon)晶圆自动装载器,高倍率显微镜和可编程XY平台,用于宏观和微观检查。它不仅可以对晶圆正面与背面进行宏观检查,还可以对晶圆正面进行微观检查。另外,可选择升级喷墨打标系统,用于标记在已检测的瑕疵芯片。

(晶圆)光学检测系统 - WIS1000

    • 专门为6英寸和8英寸晶圆设计
    • 微观和宏观检查(包括背面宏观检查)
    • 明视野、暗视野和NIC模式
    • 尼康自动加载器和显微镜
    • 带有5个物镜的电动换镜旋座(2.5x, 5x,10x,20x,50x)
    • 配备晶圆离子中和器和可编程XY工作台
    • 配备晶圆对准器和晶圆映射
    • 喷墨打标机进行瑕疪标记(可升级)
    • TCP-IP和RS232数据接口/SECS/GEM数据通信(可升级)
    • 配备菜单控制程序、晶圆图和显微镜组件控制的软件用户界面。
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