top of page

WPS3800是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此系统适用于8英寸和12英寸晶圆。该系统配有两个用于8英寸SEMI标准开放式晶圆匣和12英寸FOUP晶圆匣或12英寸FOSB晶圆匣的装载端口,两个用于8英寸晶圆盒和12英寸晶圆盒的装载端口(可配置1个晶圆盒和1个配备可选Cartesian机器人模块的晶圆罐),以及一个用于衬纸或隔离纸的端口(用于8英寸和12英寸晶圆的自动转换)。WPS3800内置用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的视觉传感器,以及在晶圆盒和晶圆罐装载端口上配备内置高度传感器,以确保机器人在拾取和放置过程中的准确性。

晶圆包装与拆封系统​ - WPS3800​

QES-Registered-White-Logo-with-Tagline.png

©2023 by QES Technology (Shanghai) Co., Ltd

科宇升科技(上海)有限公司

QES Technology (Shanghai) CO., LTD.

Unit 601, Building 3, Lane 2288, Zu Chong Zhi Road,

Pudong, Shanghai,, 201203, P.R. China.

bottom of page