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WSS8000是被设计用于传送晶圆从晶圆匣至另外一个晶圆匣里。该机器设计有两个标准装载端口,可装载8英寸SEMI标准开放式晶圆匣、12英寸FOUP晶圆匣和12英寸FOSB晶圆匣。系统还搭配晶圆扫描和位置感测器,可在操作过程中检测任何晶圆交叉位置或晶圆叠片问题。机械臂与末端执行器集成,使用伯努利或真空抽吸类型(取决于晶圆特征)将晶圆转移到输出晶圆匣。WSS8000能够通过晶圆ID分拣、顺序分拣、拖放分拣、子批次晶圆分拣和槽对槽分拣等五种分拣方式进行晶圆传送。

晶圆搬运系统 - WSS8000

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